中国芯片是怎样制作的 中国制造不出来自己的芯片吗?

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中国芯片是怎样制作的

中国制造不出来自己的芯片吗?

中国制造不出来自己的芯片吗?

中国制造的芯片早就实现了,像LED也用芯片,只是高端芯片相关技术还未突破。
因为芯片制造中四大核心技术:CMP抛光液技术、CMP抛光垫技术、光刻胶技术、光刻机技术
到目前为止,只有前两个核心技术的国内企业已经攻破技术壁垒,实现了国产化;后面两个核心技术还有待突破。
芯片的制造工艺,分为两道工序:晶圆制造工序和在晶圆上光刻集成电路图工序。
晶圆制造工序的核心技术是CMP抛光液技术和CMP抛光垫技术
晶圆制造工序,分为7个工序:扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、化学机械抛光(CMP)、金属化。
CMP工序是通过机械研磨技术与表面化学作用相结合,使晶圆表面达到纳米级的平坦效果,这样才有利于下一步光刻集成电路图工序顺利进行。
CMP抛光液的性能,决定了晶圆表面质量。CMP抛光液由研磨材料(常用的有纳米级Al2O3粒子和纳米级SiO2粒子)、PH调节剂、稳定剂、氧化剂、成膜剂,和具有腐蚀溶解作用的表面活性剂等组成。
CMP抛光液对晶圆表面的作用机理,分为机械作用机理和化学作用机理。
机械作用机理
CMP抛光液中的研磨材料对晶圆表面材料进行研磨去除,同时抛光液具有润滑和降温的作用。研磨下来的晶圆表面材料随着抛光液流走,能有效避免划伤晶圆表面。
化学作用机理
抛光液中具有腐蚀作用的表面活性剂,会与晶圆表面材料发生轻微的化学反应,使晶圆表面材料软化。在机械作用的协同下,磨去晶圆表面的材料。
在晶圆上光刻集成电路图工序核心技术是光刻胶技术和光刻机技术。
光刻胶是一种对光敏感的高分子化合物,当被X射线、紫外光等光源照射时,就会发生相应的化学反应的蚀刻材料。
光刻胶,由光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)和光刻胶树脂、单体、其他助剂组成。其中光引发剂和其他助剂占15%,光刻胶树脂占50%,单体占35%。
目前光刻胶从应用方向分为:LCD光刻胶、PCB光刻胶、半导体(芯片)光刻胶,前两个基本国产化,半导体(芯片)光刻胶技术要求较高,目前相关技术与国外还有很大差距。
光刻胶使用工艺流程
1.光刻胶涂布到晶圆表面前,先用氢氟酸、甲醇、双氧水等溶剂对晶圆表面清洗。
2.清洗后,在晶圆表面涂上一层光刻胶,烘干后放到光刻机里。掩模板与晶圆对准,然后进行曝光,就是光照。
掩模板上分为图形区和没有图形的空白区,当光通过掩模板照射过去时,经过掩模板图形区域的光被图形遮挡了,照不到图形下面的光刻胶。
可以这么理解,把掩模版看作一块涂有黑色图形的玻璃,当阳光照到玻璃上时,照到图形上的阳光透不过黑色图形。
经过空白区域的光,因为没有图形遮挡,直接透过空白区,照到了下面的光刻胶,这些光刻胶被光照后,会发生交联、聚合、分解等化学反应。
3.经过曝光后,再经过显影,显影液就会选择性地与被光照的光刻胶发生反应,这部分光刻胶就会溶解于显影液中。
4.再进行烘干,此时没有被光照过的光刻胶就形成了掩模版上的图形。
5.蚀刻,所用蚀刻液会与没有光刻胶覆盖的晶圆表面发生轻微的反应,有光刻胶覆盖的晶圆表面接触不到蚀刻液不会发生反应。
打个比方,把晶圆表面看作晒谷场上的谷子。下雨了,有棚子遮盖的谷子就淋不到雨,棚子就是光刻胶。
6.去除剩下的光刻胶,此时光刻胶下面没有被蚀刻的晶圆表面就形成了掩模版上的电路图。就像上一个比方,当雨停了,把被雨淋到的谷子铲走,把雨棚撤掉,雨棚下没有淋湿的谷子就是拉开雨棚时的样子。
好比把一个碗按在头上理发,等理完发,把碗拿掉;此时的发型就是一个碗口形状。
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从沙子到芯片,cpu是怎么制造的?

1 硅提纯
2 切割晶圆
3 影印(Photolithography)
4 蚀刻(Etching)
5 重复、分层
6 封装
7 多次测试
1 硅提纯
在硅提纯的过程中,原材料硅将被熔化,并放进一个巨大的石英熔炉。这时向熔炉里放入一颗晶种,以便硅晶体围着这颗晶种生长,直到形成一个几近完美的单晶硅。以往的硅锭的直径大都是200毫米,而CPU厂商正在增加300毫米晶圆的生产。
2 切割晶圆
硅锭造出来了,并被整型成一个完美的圆柱体,接下来将被切割成片状,称为晶圆。晶圆才被真正用于CPU的制造。所谓的“切割晶圆”也就是用机器从单晶硅棒上切割下一片事先确定规格的硅晶片,并将其划分成多个细小的区域,每个区域都将成为一个CPU的内核(Die)。一般来说,晶圆切得越薄,相同量的硅材料能够制造的CPU成品就越多。
3 影印(Photolithography)
在经过热处理得到的硅氧化物层上面涂敷一种光阻(Photoresist)物质,紫外线通过印制着CPU复杂电路结构图样的模板照射硅基片,被紫外线照射的地方光阻物质溶解。而为了避免让不需要被曝光的区域也受到光的干扰,必须制作遮罩来遮蔽这些区域。这是个相当复杂的过程,每一个遮罩的复杂程度得用10GB数据来描述。
4 蚀刻(Etching)
这是CPU生产过程中重要操作,也是CPU工业中的重头技术。蚀刻技术把对光的应用推向了极限。蚀刻使用的是波长很短的紫外光并配合很大的镜头。短波长的光将透过这些石英遮罩的孔照在光敏抗蚀膜上,使之曝光。接下来停止光照并移除遮罩,使用特定的化学溶液清洗掉被曝光的光敏抗蚀膜,以及在下面紧贴着抗蚀膜的一层硅。然后,曝光的硅将被原子轰击,使得暴露的硅基片局部掺杂,从而改变这些区域的导电状态,以制造出N井或P井,结合上面制造的基片,CPU的门电路就完成了。
5 重复、分层
为加工新的一层电路,再次生长硅氧化物,然后沉积一层多晶硅,涂敷光阻物质,重复影印、蚀刻过程,得到含多晶硅和硅氧化物的沟槽结构。重复多遍,形成一个3D的结构,这才是最终的CPU的核心。每几层中间都要填上金属作为导体,以保持各层电路的连通。层数决定于设计时CPU的布局,以及通过的电流大小。一个完整的CPU内核包含大约20层.
6 封装
经过上一步操作的CPU是一块块晶圆,它还不能直接被用户使用,必须将它封入一个陶瓷的或塑料的封壳中,这样它就可以很容易地装在一块电路板上了。封装结构各有不同,但越高级的CPU封装也越复杂,新的封装往往能带来芯片电气性能和稳定性的提升,并能间接地为主频的提升提供坚实可靠的基础。
7 多次测试
测试是一个CPU制造的重要环节,也是一块CPU出厂前必要的考验。这一步将测试晶圆的电气性能,以检查是否出了什么差错,以及这些差错出现在哪个步骤(如果可能的话)。接下来,晶圆上的每个CPU核心都将被分开测试。
每块CPU将被进行完全测试,以检验其全部功能。某些CPU能够在较高的频率下运行,所以被标上了较高的频率;而有些CPU因为种种原因运行频率较低,所以被标上了较低的频率。最后,个别CPU可能存在某些功能上的缺陷,如果问题出在缓存上,制造商仍然可以屏蔽掉它的部分缓存,这意味着这块CPU依然能够出售,只是它可能是Celeron等低端产品。
当CPU被放进包装盒之前,一般还要进行最后一次测试,以确保之前的工作准确无误。根据前面确定的最高运行频率和缓存的不同,它们被放进不同的包装,销往世界各地。